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中高溫壓力傳感器

CYG161、CYG163
    普通的壓阻式壓力傳感器電橋中的四電阻是用集成電路工藝制造的,電阻間以PN結(jié)自隔離。由于
此結(jié)構(gòu)受耐溫限制,在使用溫度達到﹢100~﹢120℃時,性能已大大劣化,不適應(yīng)更高溫度下的工
況和許多特殊應(yīng)用環(huán)境。利用陶瓷厚膜敏感元件和多晶硅敏感元件或藍寶石制造的CYG161、CYG163
型傳感器,就是針對較高溫度范圍開發(fā)出來的。它適應(yīng)介質(zhì)溫區(qū)寬,因此拓寬了傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域
。
 
一.主要技術(shù)指標
 

型    號

CYG161

CYG163

量    程

0—4KPa…100Mpa全程可選

零位輸出

≤±5mV

滿量程輸出

30mV±50﹪

80mV±50﹪

過載能力

150﹪

供電電源

恒壓源供電3—12V,通常為10V

恒流源供電0.5—5mA或恒壓源供電﹢15V

補償溫區(qū)

﹣10℃—﹢90℃

﹣20℃—﹢150℃

工作溫區(qū)

﹣40℃—﹢125℃

﹣55℃—﹢200℃

適用介質(zhì)

航空航天、能源運輸、石油堪采、化工、熱工自動化等特殊應(yīng)用環(huán)境和高溫工況

 
二.分檔性能參數(shù)
 

           指標
檔級

零點時漂
mv8小時

零點溫度系數(shù)
×10﹣4 / ℃·FS

靈敏度溫度系數(shù)
×10﹣4 / ℃·FS

非線性
±﹪FS

不重復(fù)性,遲滯
﹪FS

A

0.2

5

5

0.5

0.3

B

0.1

3

3

0.3

0.2

C

0.1

2

2

0.2

0.15

D

高精度要求特定

 
三.標準外形、壓力接口及殼體材料
 
    以下為帶散熱結(jié)構(gòu)的高溫傳感器標準外型圖。其壓力接口可以選擇M12×1M20×1.5選擇,亦
可特定外型及接口,殼體材料為1Cr18Ni9Ti。
 
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